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帕耳帖式空氣溫控器 HEA
系列/
CAD
設定溫度范圍 冷卻能力 溫度穩(wěn)定性 冷卻方式 適用流體
HEA  0~50℃ 22W ±0.1℃ 帕耳帖式
空冷卻式
空氣
特長
  • 使用帕爾貼元件的高精度、小型溫調器。
  • 對應于局部溫調或小容量溫調。
帕耳帖式化學液溫控器 HED
系列/
CAD
設定溫度范圍 冷卻能力 溫度穩(wěn)定性 冷卻方式 循環(huán)液
HED  10~60℃ 300~750W ±0.1℃ 帕耳帖式
水冷卻式
去離子水(純水)
化學液
特長
  • 采用了氟樹脂熱交換機,實現(xiàn)化學液的直接溫控。
  • 氟樹脂熱交換機可以適應于多種化學液。
  • 符合UL標準、CE規(guī)格。
帕爾貼式溫調恒溫槽 HEB
系列/
CAD
設定溫度范圍 冷卻能力 溫度穩(wěn)定性 冷卻方式 循環(huán)液
HEB  -15~60℃ 140W ±0.1℃ 帕爾貼式
水冷卻式
清水
氟素化液
特長
  • 用帕爾貼式元件可實現(xiàn)高精度溫調恒溫槽。
  • 小型、低噪音。
  • 獨特的攪拌方式使槽內上下溫度分布均勻。
帕耳帖式溫控器 HEC
系列/
CAD
設定溫度范圍 冷卻能力 溫度穩(wěn)定性 冷卻方式 循環(huán)液
HEC  10~60℃ 230W ±0.01~
0.03℃
帕爾貼式
空冷卻式
清水
600、1200W ±0.01~
0.03℃
帕爾貼式
水冷卻式
清水
氟素化液
特長
  • 用于高精度的溫度控制。
  • 用帕爾貼式元件可實現(xiàn)無氟里昂高精度溫度控制。
  • 結構簡單,可靠性高。
  • 小型、低震動,容易組裝。
  • 可用于寬泛的電源電壓下。
  • 符合UL標準、CE規(guī)格。
水冷卻式溫控器 HRW
系列/
CAD
設定溫度范圍 冷卻能力 溫度穩(wěn)定性 冷卻方式 循環(huán)液
HRW  20~90℃ 2~30kW ±0.3℃ 水冷卻式 氟素化液
清水
去離子水(純水)
乙二醇
水溶液
特長
  • 可以與工廠內循環(huán)用水直接進行熱交換。
  • 適用于無需冷凍設備調溫的場合。
  • 溫度穩(wěn)定性高、溫度調節(jié)范圍寬、具有故障診斷外部通信性能,多用于半導體工藝設備。
  • 符合UL和SEMI標準、CE規(guī)格。
  • 可選擇帶變頻器類型。
冷凍式溫控器 HRZ
系列/
CAD
設定溫度范圍 冷卻能力 溫度穩(wěn)定性 冷卻方式 循環(huán)液
HRZ  -20~90℃ 1.8~10kW ±0.1℃ 水冷冷凍式 氟素化液
清水
去離子水(純水)
乙二醇
水溶液
特長
  • 在HRZ系列高性能的基礎上,采用了DC變頻壓縮機,實現(xiàn)了省能化。
  • 兼?zhèn)鋸V泛的溫度調節(jié)范圍和冷卻能力范圍。
  • 適用于更新周期短的半導體器件,可以靈活地響應不斷變化的工藝條件。
  • 符合UL和SEMI標準、CE規(guī)格。
冷凍式溫控器 HRZ
系列/
CAD
設定溫度范圍 冷卻能力 溫度穩(wěn)定性 冷卻方式 循環(huán)液
HRZ  -20~40℃ 1~15kW ±0.1℃ 水冷冷凍式 氟素化液
清水
去離子水(純水)
乙二醇
水溶液
20~90℃
-20~90℃
特長
  • 溫度穩(wěn)定性高、溫度調節(jié)范圍寬、具有故障診斷外部通信性能,多用于半導體工藝設備。
  • 適用各種安全標準。
  • 符合UL和SEMI標準、CE規(guī)格。
冷凍式溫控器 HRGC
系列/
CAD
設定溫度范圍 冷卻能力 溫度穩(wěn)定性 冷卻方式 循環(huán)液
HRGC  5~35℃ 1~5kW ±1.0℃/
±0.5℃
空冷冷凍式
水冷冷凍式
清水
去離子水(純水)
乙二醇
水溶液
特長
  • 空冷類。設置操作簡單、在任何需要場合都可以得到冷卻水。
  • 廣泛的應用于激光加工機/分析儀/LCD制造設備/模具溫調等。
  • 適合海外出口(單相200~230V)
    符合UL標準、CE規(guī)格。
冷凍式溫控器 HRG
系列/
CAD
設定溫度范圍 冷卻能力 溫度穩(wěn)定性 冷卻方式 循環(huán)液
HRG  5~35℃ 1~15kW ±1.0℃/
±0.5℃
空冷冷凍式
水冷冷凍式
清水
去離子水
(純水)
乙二醇
水溶液
特長
  • 空冷類。設置操作簡單、在任何需要場合都可以得到冷卻水。
  • 廣泛的應用于激光加工機/分析儀/LCD制造設備/模具溫調等。

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