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真空無桿氣缸 CYV
系列/CAD 使用環(huán)境壓力{Pa (ABS)} 缸徑 (mm)
CYV  大氣~1.3×10-4 15,32
特長
  • 真空環(huán)境內(nèi) (1.3×10-4Pa) 在搬運場合可以使用的氣缸。
門閥 XGT
系列/CAD 使用壓力范圍 (Pa) 使用流體 門尺寸
(高×寬) (mm)
動作壓力
(MPa)
XGT  大氣壓~1×10-6 惰性氣體系的真空 32×222
46×236
50×336
0.45~0.6
特長
  • 對于半導(dǎo)體裝置等場合、適合于負(fù)載鎖定室和傳送室以及傳送室和過程室之間有門閥隔開的場合。
平穩(wěn)出氣閥 XVD
系列/CAD 閥形式 使用流體 配管連接方式 配管尺寸
XVD  常斷
(加壓通/彈簧密封)
氮氣、空氣、惰性氣體等 VCR®
Swagelok®
1/4B
特長
  • 閥與針閥一體化結(jié)構(gòu)使配管縮短為原來的1/4。
  • (閥芯)座部分采用間隙隔膜,微粒子數(shù)量大幅降低。
  • 伴隨主供氣初期供氣可進(jìn)行流量調(diào)整。
磁性開關(guān) D
系列 磁性開關(guān)種類 內(nèi)容
D Series  有觸點的磁性開關(guān) 一般 (通用型)
無觸點的磁性開關(guān) 一般 (通用型)
不銹鋼制高真空L型閥/直通閥 XM/XY
系列/CAD
(L型/直通型)
動作方式 軸密封方式 閥形式 材質(zhì) 法蘭尺寸
XMA/XYA  氣控 波紋管密封 單作用
(N.C.)
閥體:
  SCS13
  (相當(dāng)SUS304)
波紋管:
  SUS316L
16~80注)
XMC/XYC  雙作用
XMD/XYD  波紋管
O型圈密封
單作用
(N.C.)
閥體:
 SCS13
 (相當(dāng)SUS304)
波紋管:
 SUS316L
25~80
XMH/XYH  手動 波紋管密封 手動 閥體:
 SCS13
  (相當(dāng)SUS304)
波紋管:
 SUS316L
16~50注)
特長
  • 采用精密鑄造一體化結(jié)構(gòu),無氣體滯留。
  • 與鋁制高真空L型閥XL系列的安裝有互換性 (XM系列)
鋁制快換接頭裝拆 高真空L型閥 XLAQ·XLDQ
系列/CAD 動作方式 軸密封形式 閥形式 材質(zhì) 法蘭尺寸
XLAQ  氣控 波紋管密封 單作用
(N.C.)
閥體:
 鋁
波紋管:
 SUS316L
16~50
XLDQ  波紋管密封
O形圈密封
40,50
特長
  • 快換接頭裝拆 (無需工具)
鋁制高真空L型閥 XL
系列/CAD 動作方式 軸密封形式
閥形式 材質(zhì) 法蘭尺寸
XLA  氣控 波紋管密封 單作用
(N.C.)
閥體:
  鋁合金
波紋管:
 SUS316L
16~80
XLAV
(帶電磁閥)
 
XLC  雙作用
XLCV
(帶電磁閥)
 
XLF  O形圈密封
單作用
(N.C.)
閥體:
  鋁合金
16~160
XLFV
(帶電磁閥)
 
XLG  雙作用 16~80
XLGV
(帶電磁閥)
 
XLD  波紋管・
O形圈密封
單作用
(N.C.)
閥體:
 鋁合金
波紋管:
 SUS316L
25~80
XLDV
(帶電磁閥)
 
XLH  手動 波紋管密封
手動 閥體:
 鋁合金
波紋管:
 SUS316L
16~50
XLS  電磁式 波紋管壓力平衡 單作用
(N.C.)
16, 25
特長
  • 抗氟腐蝕能力強。
  • 放出氣體少。
  • 重金屬污染少。

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