|  | 
        
        | 
              
                | 
                  
                    | 
                      
                      
                        
                        
                            | 流量傳感器    PFMV |  
                            |  |  
                            |  | 
| 系列/CAD | 設(shè)定流量范圍 (L/min) |  
| PFMV  | 0~0.5 |  
| 0~1 |  
| 0~3 |  
| -0.5~0.5 |  
| -1~1 |  
| -3~3 |  
| 特長 | 
用于微小工件的吸著確認(rèn)。重復(fù)精度±2%F.S.以下。響應(yīng)速度5ms以下、耐壓500kPa。無潤滑脂、對應(yīng)RoHS。一個(gè)監(jiān)視器可對應(yīng)全部的量程。 |  |  
                        
                        
                            | 空氣用數(shù)字式流量開關(guān)    PF2A |  
                            |  |  
                            |  | 
| 系列/CAD | 設(shè)定流量范圍 (L/min) |  
| PF2A  | 1~10 |  
| 5~50 |  
| 10~100 |  
| 20~200 |  
| 50~500 |  
| 150~3000 |  
| 300~6000 |  
| 600~12000 |  
| 特長 | 
顯示一體型和分離型兩種形式。有開關(guān)輸出、累計(jì)脈沖輸出和模擬輸出。瞬時(shí)流量和累計(jì)流量可切換。IP65 |  |  
                        
                        
                            | 水用數(shù)字式流量開關(guān)   PF2W |  
                            |  |  
                            |  | 
| 系列/CAD | 設(shè)定流量范圍 (L/min) |  
| PF2W  | 0.5~4 |  
| 2~16 |  
| 5~40 |  
| 10~100 |  
| 特長 | 
顯示一體型和分離型兩種形式。有開關(guān)輸出、累計(jì)脈沖輸出和模擬輸出。瞬時(shí)流量和累計(jì)流量可切換。90℃高溫可用。IP65 |  |  
                        
                        
                            | 純水・化學(xué)液用數(shù)字式流量開關(guān)    PF2D |  
                            |  |  
                            |  | 
| 系列/CAD | 設(shè)定流量范圍 (L/min) |  
| PF2D  | 0.4~4 |  
| 1.8~20 |  
| 4.0~40 |  
| 特長 | 
主體傳感器部:NewPFA,管子:SuperPFA低發(fā)塵、優(yōu)良的置換特性。 |  |  
                        
                        
                            | 膜片式流量開關(guān)   IFW5 |  
                            |  |  
                            |  | 
| 系列/CAD | 設(shè)定流量范圍 (L/min) |  
| IFW5  | 1~10 |  
| 10~20 |  
| 20~50 |  
| 特長 | 
用于冷卻設(shè)備等的通用斷水、減水型繼電器。帶霓虹燈。 |  |  
                        
                        
                            | 槳葉式流量開關(guān)    IF3 |  
                            |  |  
                            |  | 
| 系列/CAD | 設(shè)定流量范圍 (L/min) |  
| IF3  | 14~60 |  
| 20~1500 |  
| 36~2600 |  
| 特長 | 
用于冷卻設(shè)備等的通用斷水、減水型繼電器。接管口徑 3/4, 1相當(dāng)IP42、相當(dāng)IP44。 |  |  
                        
                        
                            | 靜電消除器    IZS31 |  
                            |  |  
                            |  | 
| 系列/CAD | 離子產(chǎn)生方式 | 離子平衡 |  
| IZS31  | 電暈放電式 | ±30V以下 (不銹鋼電極針的場合±100V)
 |  
| 特長 | 
除電時(shí)間0.3秒。3類傳感器可供選擇。
通過反饋傳感器可高速除電。通過自動(dòng)平衡傳感器控制離子平衡。高精度型:正確調(diào)節(jié)工件位置的離子平衡。
 本體安裝型:根據(jù)檢測接地返回電流,調(diào)整靜電消除器安裝狀態(tài)可使用。
 可根據(jù)用途選擇電極針。 |  |  
                        
                        
                            | 表面電位傳感器   IZD10 |  
                            |  |  
                            |  | 
| 系列/CAD | 測定電位 | 輸出電壓 | 有效檢測距離 |  
| IZD10-110  | ±0.4kV (檢測距離25mm時(shí))
 | 1~5V (輸出阻抗約100Ω)
 | 10~50mm |  
| IZD10-510  | ±20kV (檢測距離50mm時(shí))
 | 25~75mm |  
| 特長 | 
檢測工件靜電電位,輸出開關(guān)量和模擬電壓。 |  |  
                        
                        
                            | 表面電位傳感器   IZE11 |  
                            |  |  
                            |  | 
| 系列/CAD | 測定范圍 | 設(shè)定最小單位 | 輸出 |  
| IZE11  | -0.4kV~+0.4kV -20kV~+20kV
 | 0.001kV (±0.4kV時(shí))
 0.1kV
 (±20kV時(shí))
 | 開關(guān)輸出×2+模擬輸出 (1~5V、4~20mA)
 |  
| 特長 | 
檢測工件靜電電位,輸出開關(guān)量和模擬電壓或電流。 |  |  |  |  |  |