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產(chǎn)品展示
 
 
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潔凈氣體過(guò)濾器 SF

類型 系列/CAD 使用壓力 過(guò)濾精度
卡盤式
圓盤式		 SFA100/
200/300 		 Max.1.0MPa
(真空：1.3×10-6kPa)		 0.01μm
(捕捉效率99.99%)
卡盤式
直筒式		 SFB100  Max.1.0MPa
(真空：1.3×10-6kPa)

 特長(zhǎng)
  • 可更換濾芯的卡盤式。
一次性使用式
直筒式		 SFB300  Max.15MPa
(真空：1.3×10-6kPa)		 0.01μm
(捕捉效率99.99%)
一次性使用式
多層盤式		 SFC100  Max.1.8MPa
(真空：1.3×10-6kPa)

 特長(zhǎng)
  • 用于半導(dǎo)體工藝的一次性使用式。
卡盤式
直筒式
潔凈氣體濾網(wǎng)		 SFB200  Max.1.0MPa
(真空：1.3×10-6kPa)		 120μm
 
 
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